Главное

     Приборы для контроля толщины пленок на кремниевых пластинах.

     Приборы контроля толщины кремниевых пластин, в том числе больших размеров (до 400 мм в диаметре, толщиной до 50 мм, массой до 30 кг).

     Приборы для контроля чистоты поверхности кремниевых пластин.